Анализ остаточных газов (АОГ) HPQ3S позволяет работать до 0,008 Торр без необходимости дифференциальной перекачки. Проверенная на практике технология в сочетании с новейшей инновационной электроникой Microvision 2 обеспечивает качество данных, ранее не наблюдавшееся в этом классе приборов. Полученная в результате система является менее сложной, с уменьшенными требованиями к установке, предлагая более высокий уровень надежности при существенно более низкой стоимости. Кроме того, HPQ3S использует проверенные алгоритмы коррекции приложений, чтобы компенсировать изменение чувствительности, возникающее в результате ионно-молекулярных взаимодействий в источнике ионов при более высоких давлениях. • Верхний рабочий предел полного давления 0,008 Торр • Поиск течей в вакуумных линиях, трубопроводах охлаждающей жидкости, уплотнениях и сварочных швах • Применение утвержденных алгоритмов коррекции для компенсации изменения чувствительности • Проверьте качество технологических газов
Технологическое лидерство АОГ
MKS была первой компанией, предложившей АОГ-совместимость с современными сетевыми установками на базе Ethernet. HPQ3 продолжает эту разработку до уровня, обеспечивающего высочайшую гибкость и возможность подключения благодаря использованию стандартного коммуникационного оборудования и программного обеспечения отрасли. HPQ3 оптимизирует функции, необходимые для сложного датчика, имея два выделенных процессора;
• Оптимизированный, собственный процессор для сбора данных
• Промышленный стандартный процессор операционной системы CE для внешних коммуникаций с использованием проверенной на практике технологии TCP-IP.
Преимущества такого подхода к проектированиюзаключаются в быстром и точном получении данных от надежного датчика АОГ с использованием отраслевых стандартных гибких протоколов связи. HPQ3 также предоставляет полный спектр дополнительных цифровых и аналоговых соединений для интеграции в системы с гибкими недорогими решениями.
Конструкция квадрупольного анализатора высокого давления
Новая РЧ конструкция HPQ3 охватывает диапазон масс 1-100 а.е.м. без ущерба для качества разделения газовых пиков при очень низкой или большой массе. Проверенная на практике конструкция квадрупольного анализатора высокого давления в HPQ3 сохраняет надежную и недорогую конструкцию источника ионов с двойными нитями. Это обеспечивает непрерывную бесперебойную работу без необходимости регулярной замены нитей до истечения их стандартного срока службы. Для особых случаев применения под высоким давлением до 1*10-2 мбар HPQ3S выполняет коррекцию в режиме реального времени, используя манометрическое давление от инструмента или используя различные дополнительные независимые датчики, установленные на специальной F-камере, разработанной для оптимальной работы с HPQ3S.
Регистрирующая электроника с широким динамическим диапазоном
Запатентованная регистрирующая электроника с широким динамическим диапазоном позволяет обнаруживать одиночные части диаграммы на миллион утечек или загрязнений в камере, даже когда одновременно измеряются основные газовые пики в диапазоне 10-3 мбар. Это возможно при однократном сканировании или пиковом скачке сбора данных с интервалом менее 20 мс между максимальным и минимальным уровнями сигнала и без необходимости в дорогостоящем электронном умножителе, который нуждается в частой калибровке и замене.
• Предотвращает появление больших пиков от ложноположительных измерений на небольших пиках.
• Стабилизированные по температуре критические компоненты с улучшенной стабильностью сигнала и дрейфом основной линии позволяют использовать прибор без частой повторной калибровки, если вакуумная камера стабильна, но температура окружающего воздуха колеблется.
• Переменные условия датчика, чтобы соответствовать потребностям каждого процесса в различных условиях давления.
• Каждая оптимизированная конфигурация датчика отдельно сохраняется в АОГ и автоматически вызывается или калибруется по программным рецептам.
• Гибкая цифровая и аналоговая возможность ввода / вывода с выделенным портом датчика в стандартной комплектации.
Web-интерфейс использующий стандартную для отрасли технологию, позволяет настраивать и управлять HPQ3 из любой точки сети. Использование web-браузера, не зависящего от платформы, позволяет выполнять калибровку, эксплуатацию и сохранение данных в реальном времени в формате экспорта. Используя протокол ASCII и связь TCP-IP, любое стороннее программное обеспечение может отправлять и получать команды и данные от HPQ3 и HPQ3S.
Process Eye Professional
Комплексная программная платформа на базе Windows, обеспечивающая полный контроль всех параметров АОГ:
• Программируемое управление для гибкости и простоты работы с помощью EasyView recipe и Recipe Wizard
• Возможность подключения к другим системам с помощью разнообразных протоколов Modbus, ASCII, SECS, серийные коммуникации, TCP-IP, файловый обмен и многое другое
• Гибкость в обработке пользовательских данных, проверке условий срабатывания сигнализации и операциях замкнутого контура управления.
Технические данные
| Анализатор | |
| Диапазон измеряемых масс | 1-100 а.е.м. |
| Детектор | чаша Фарадея |
| Катоды | Вольфрамовый или иридиевый, покрытый окисью тория |
| Макс. рабочее давление | 0,008 Торр (0,001 мбар) - зависит от применения |
| Мин. определяемое парциальное давление | 8*10-11 торр (1*10-11 мбар) |
| Мин. определяемая концентрация | 5ppm при 0,001 торр (0,0013 мбар) |
| Стабильность | ±0,1 а.е.м. за 8 часов работы при постоянной температуре окружающей среды |
| Разрешение | < 10% между пиками с равными высотами по всему диапазону измеряемых масс |
| Температура отжига | 250 оС (без электронной части) |
| Материал катода | Вольфрамовый или иридиевый, покрытый окисью тория |
| Рабочая температура | температура электроники: 10-40 ° C |
| Макс. условия работы | 80% относительной влажности (без конденсации) |
| Скорость сбора данных | < 3 мс на точку |
