300-миллиметровый Resist-Torr XD использует технологию V-lens повышающую проверенную производительность 300 mm Resist-Torr до нового уровня чувствительности, селективности и уверенности в применении дегазации по сравнению с обычными квадрупольными масс-спектрометрическими анализаторами остаточных газов. 300 mm Resist-Torr XD преодолевает проблемы, возникающие при использовании таких сложных газов как аргон, которые не могут решить ограниченные возможности обнаружения обычных систем. В сочетании с уникальным PR-индексом от MKS, эта мощная платформа обеспечивает явное преимущество для контроля и обнаружения следовых газов. • Обнаружение загрязнения фоторезиста при дегазации под высоким давлением (~8 Торр) • Повышенная чувствительность до 10 раз при меньших массах (<15 ppb) • Достоверное различие между газами и фоном • 2-кратное улучшение абсолютной чувствительности - благодаря улучшенной фокусировке • Полностью автоматизированный контроль рабочего процесса означает отсутствие необходимости в операторе
Технические данные
| Анализатор | |
| Диапазон измеряемых масс | 1-200 а.е.м. |
| Детектор | Двойной (чаша Фарадея и вторичный электронный множитель) |
| Мин. определяемая концентрация | <15 ppb с аргоном или азотом |
| Стабильность | ±0,1 а.е.м. за 8 часов работы при стабильной температуре окружающей среды |
| Источник ионов | Высокая чувствительность, закрытый ионный источник |
| Материал катода | Сменные двойные ториевые нити |
| Рабочая температура | температура электроники: 10-40 °C |
| Условия эксплуатации | Относительная влажность 80% (без конденсации) |
Технология V-lens
V-lens Ion Optics Technology - Траектории отрицательных ионов (зеленый), положительных ионов (красный), нейтральных ионов (синий) в ионной оптике V-lens, уменьшающие метастабильный распад.
В процессах дегазации обычно используются инертные газы, такие как аргон или азот. Использование этих газов может быть проблематичным, поскольку они создают повышенный базовый уровень в АОГ из-за большого количества химического фонового шума, вызванного метастабильным распадом. Это приводит к снижению чувствительности, что может быть проблематичным для производителей, которые хотят быстро и легко выявить изменения в следовых газах (которые указывают на проблемы в процессе производства).
Технология V-lens, уникальное решение, помогает преодолеть эту проблему, ообеспечивая стабильно низкий массовый независимый базовый уровень и уровни обнаружения в диапазоне низких частот ppb. Это достигается с помощью уникальной ионной оптики, которая использует запатентованный механизм двойной фокусировки и отклонения, который значительно снижает фон и повышает чувствительность (см. Рисунок).
Результатом является газоанализатор с пределами обнаружения в диапазоне низких частот ppb, без ущерба для любого другого аспекта работы прибора.
Эта современная технология АОГ интегрирована с платформой управления Process Eye Professional, основанной на сценариях, настраиваемой пользователем программой. Комбинация V-lens, закрытого ионного источника и автоматизированного входа позволяет осуществлять чувствительный и воспроизводимый контроль полного технологического цикла ALD, CVD или травления.
Максимизируя соотношение между сигналами газа ALD, CVD или камеры травления и газового фона в корпусе анализатора с дифференциальной накачкой, V-lens и закрытым источником ионов обеспечивает обнаружение низкого уровня ppm для следовых
Мониторинг дегазации сигнатурной массы
Пример из реальной жизни, когда контроль дегазации сигнатурной массы может быть достигнут только при использовании технологии V-lens, показан на рисунке. Исходная линия значительно снижена, что позволяет однозначно определить целевую массу. Это позволяет быстрее и проще идентифицировать следовые газы, что имеет решающее значение во многих производственных процессах.
Индекс PR и интеграция Fab
Когда система используется с мощными функциями пакета программного обеспечения сенсорного управления Process Eye и TOOLweb RGA, результатом является полностью автоматизированная работа и высоконадежное и чувствительное обнаружение фоторезиста. Внеплановые простои сокращаются, а производительность устройств повышается.
300-миллиметровый Resist-Torr XD учитывает множество различных параметров ступени дегазации и объединяет эти данные для предоставления информации в виде значимого числа без необходимости интерпретации пользователем. Это измерение, называемое индексом PR, является нормализованным показателем загрязнения фоторезиста с помощью пластин, который может быть представлен в различных формах для сравнения данных с течением времени.
300-миллиметровый Resist-Torr может автоматически прервать обработку любой пластины, без вмешательства оператора, если пластина входит в вакуумную систему с вредными уровнями остаточного фоторезиста, как определено индексом PR. Пример на изображении показывает трассировку индекса PR для серии тестовых пластин и предоставляет пользователю выборочный способ обнаружения образцов, указывающих на загрязнение. Индекс PR отображается в виде чёрной кривой на верхней линии, а уровень опасности-в виде желтой линии. Можно видеть, что черная линия PR поднимается, указывая на то, что она идентифицировала загрязненные пластины. Индекс PR позволяет использовать более чувствительный и надежный метод обнаружения загрязнения фоторезистом.