Система Vision 2000-P XD предназначена для контроля критических видов газа при выбранном давлении, начиная от базового вакуума и заканчивая 10 Торр. Он идеально подходит для контроля целостности вакуума, уровня загрязнения или динамики рабочих газов в полупроводниковых и тонкопленочных технологических инструментах PVD, а также для оповещения операторов об условиях, которые могут негативно повлиять на выход продукта. Vision 2000-P XD также включает технологию V-lens, которая выводит проверенную производительность системы Vision 2000-P на новый уровень чувствительности и надежности, ранее недостижимый с обычными квадрупольными системами масс-спектрометрии. • Контроль загрязнения PVD (включая углеводороды) до уровня ниже ppm • Более чистый базовый уровень и низкий уровень шума • Повышенная чувствительность до 10 раз при меньших массах (<15 ppb) • Программное обеспечение Process Eye Professional для сбора, анализа и обработки данных • Выбор давления и время отклика оптимизированы с помощью впускного клапана и опций отверстий
Технические данные
| Анализатор | |
| Диапазон измеряемых масс | Стандартно: 1-100 а.е.м. Опционально: 1-200 и 1-300 а.е.м. |
| Детектор | Двойной (чаша Фарадея и вторичный электронный множитель) |
| Макс. рабочее давление | 7.6*10-3 Торр (1*10-2 мбар) на входе источника ионов (стандартно), более высокое давление опционально |
| Мин. обнаруживаемое парциальное давление | <2*10-11 Торр (для общего давления <1*10-4 Торр на входе) |
| Мин. определяемая концентрация | <15 ppb (указано с аргоном или азотом для пиков без помех) |
| Стабильность | ±0,1 а.е.м. за 8 часов работы при постоянной температуре окружающей среды |
| Источник ионов | Закрытый ионный источник высокой проводимости |
| Материал катода | Сменные двойные вольфрамовые или ториевые нити |
| Рабочая температура | температура электроники: 10-40 °C |
| Условия эксплуатации | Относительная влажность 80% (без конденсации) |
Технология V-lens
V-lens Ion Optics Technology - Траектории отрицательных ионов (зеленый), положительных ионов (красный), нейтральных ионов (синий) в ионной оптике V-lens, уменьшающие метастабильный распад.
В процессах дегазации обычно используются инертные газы, такие как аргон или азот. Использование этих газов может быть проблематичным, поскольку они создают повышенный базовый уровень в АОГ из-за большого количества химического фонового шума, вызванного метастабильным распадом. Это приводит к снижению чувствительности, что может быть проблематичным для производителей, которые хотят быстро и легко выявить изменения в следовых газах (которые указывают на проблемы в процессе производства).
Технология V-lens, уникальное решение, помогает преодолеть эту проблему, обеспечивая стабильно низкий массовый независимый базовый уровень и уровни обнаружения в диапазоне низких частот ppb. Это достигается с помощью уникальной ионной оптики, которая использует запатентованный механизм двойной фокусировки и отклонения, который значительно снижает фон и повышает чувствительность (см. Рисунок).
Результатом является газоанализатор с пределами обнаружения в диапазоне низких частот ppb, без ущерба для любого другого аспекта работы прибора.
Эта современная технология АОГ интегрирована с платформой управления Process Eye Professional, основанной на сценариях, настраиваемой пользователем программой. Комбинация V-lens, закрытого ионного источника и автоматизированного входа позволяет осуществлять чувствительный и воспроизводимый контроль полного технологического цикла ALD, CVD или травления.
Максимизируя соотношение между сигналами газа ALD, CVD или камеры травления и газового фона в корпусе анализатора с дифференциальной накачкой, V-lens и закрытым источником ионов обеспечивает обнаружение низкого уровня ppm для следовых загрязнений в технологическом газе.
Закрытый источник ионов
Каждый Vision 2000-P XD включает в себя закрытый источник ионов и специальный впускной клапан с оптимизированной высокой проводимостью и низкой площадью поверхности к рабочей камере PVD. С помощью этого источника система может контролировать полный цикл процесса PVD, от базового вакуума до рабочего давления до 0,01 мбар, без необходимости снижения давления на входе.
Максимизируя соотношение между сигналами рабочего газа газовым фоном в корпусе анализатора Vision 2000-P XD с дифференциальной накачкой, закрытый ионный источник в сочетании с V-lens обеспечивает низкий уровень обнаружения ppb для следовых загрязнений в рабочем газе.
Дистанционный вакуумный регулятор
Каждая система Vision 2000-P XD включает в себя модуль удаленного контроля вакуума, который обеспечивает надежную защиту как технологического инструмента, так и АОГ. Это позволяет полностью управлять и контролировать компонентами системы АОГ (нитями, насосами, впускными клапанами и т. д.).
Аппаратно-программная платформа управления Process Eye Professional
Анализатор Vision 2000-P использует очень гибкое модульное приложение Process Eye Professional, применяющее сценарии, указывающие как прибор, сканирует, отображает данные и реагирует на полученные данные. Эти сценарии настраиваются пользователем с помощью программного модуля “Recipe Wizard” [Мастер сценариев] и отлично подходят для мониторинга различных фаз циклически повторяющихся сценариев.
Связанные спектры гистограммы и недавно полученные спектры сохраняются в буфере данных для удобства просмотра. Сценарии могут быть связаны между собой для оптимального контроля различных этапов определенного процесса или для облегчения автоматической калибровки с использованием заранее определенных сценариев калибровки. Запуск нужного сценария Process Eye Professional нажатием кнопки (или сигналом внешнего устройства) устраняет необходимость в высококвалифицированных операторах, работающих полный рабочий день.
Гибкость платформы Process Eye Professional позволяет настраивать сценарии, которые будут:
• Определять параметры сбора и отображения данных, наряду с любой онлайн-обработкой данных, необходимой для преобразования данных в соответствующие единицы измерения и информацию
• Отображать данные одновременно в форматах «гистограмма» и «data trend», что позволяет проводить всестороннее и информативное исследование значимых ходов событий
• Включать пользовательские предупреждения и аварийные сигналы, срабатывающие или прекращающиеся, когда данные указывают на то, что условия процесса отклонились от нормальных условий
• Контролировать и отображать другие параметры в виде событий (температура, расход газа, мощность, давление и т. д.).
Process Eye Professional предоставляет “live history” для быстрого онлайн-обзора текущих событий данных. Недавно полученные спектры гистограммы сохраняются в буфере данных, и могут быть просмотрены при наведении курсора на соответствующий график события.