Масс-спектрометрические установки Vision 2000-C / 2000-E для процесса реактивного напыления и травления

Технические данные

Vision 2000-C и Vision 2000-E предназначены для отслеживания уровней различных видов газов во время процессов травления и очистки камеры, последовательностей пассивации и этапов осаждения для различных процессов CVD, включая:

• Нитрид титана (от TDMAT)
• Оксид тантала (из предшественника тантала)
• Медь (от CupraSelect)
• HDP low-k диэлектрических пленок
• Атомный слой CVD (ALD) и эпитаксия атомного слоя
• MOCVD
• Вольфрам и силицид вольфрама
• Реактивное ионное травление
• Плазменное травление
• Плазменное травление высокой плотности
• Микроволновое травление

Определение уровня промилле для следовых загрязнений

Благодаря максимальному соотношению между сигналами газов CVD или камеры травления и газовым фоном в корпусе анализатора Vision 2000-C и Vision 2000-E с дифференциальной накачкой, закрытый ионный источник обеспечивает обнаружение уровня ppm для следовых загрязнений в технологическом газе. Анализатор закрытого ионного источника изготовлен из нержавеющей стали и высокоплотной глиноземной керамики, изготовленной в вакууме, и имеет независимо заменяемые двойные нити для обеспечения встроенной резервной копии в случае повреждения нити. Стандартная система включает в себя анализатор с двойным фильтром для повышенной чувствительности видов с большей массой, стойкости к загрязнению и повышенной долгосрочной стабильности.

Дистанционный вакуумный регулятор

Каждая система Vision 2000-C и Vision 2000-E включает в себя модуль удаленного контроля вакуума, который обеспечивает надежную защиту как технологического инструмента, так и АОГ. Это позволяет полностью управлять и контролировать компонентами системы АОГ нитями, насосами, впускными клапанами и т. д.) с системного ПК. Компактный, удаленно монтируемый в стойку модуль включает в себя RVC и источники питания. 10 м кабелей включены в стандартную поставку, так что узел датчика может быть расположен на значительном удалении.

Мобильная платформа АОГ

Vision 2000-C или Vision 2000-E может быть установлен на мобильной платформе АОГ с удобством возможности перемещения АОГ между камерами по мере необходимости. Мобильная платформа имеет встроенный стол для ноутбука и монтирует электронику на тележке. При помощи стандартного кабеля длиной 3 м, платформа может быть удобно расположена вдали от точки крепления АОГ на инструментальной камере.

Впускной клапан UniBloc

Эксклюзивный быстродействующий впускной клапан UniBloc позволяет производить отбор проб как при фоновом, так и при технологическом давлении через отверстия, выбранные для встречного давления. При отсутствии отбора проб клапан и анализатор автоматически изолируются от рабочей камеры и продуваются инертным газом. Продувка производится через насосные системы масс-спектрометра, а не через технологическую камеру. Продувка также используется во время прокаливания, сокращая начальное время запуска и остаточного времени восстановления фона. Впускной клапан управляется встроенной электроникой и по сценариям от Process Eye Professional. Выбор клапана производится автоматически с помощью независимого от газа датчика давления на входе UniBloc, который также обеспечивает считывание общего давления в рабочей камере в программном обеспечении Process Eye Professional.

Система автоматизированного проектирования использовалось для разработки Unibloc, чтобы иметь минимальные внутренние объемы и площади поверхности. Внутренние уплотнения - Kel-F для совместимости с технологическими газами CVD и травления. Внешние уплотнения выполнены полностью из металла. Конформная нагревательная рубашка обеспечивает контроль температуры, для минимизации осаждения внутри клапана и поддержания подвижности липких/полярных газов через входное отверстие.

Аппаратно-программная платформа управления Process Eye Professional

Анализаторы Vision 2000-C/E используют очень гибкое модульное приложение Process Eye Professional, работающее под 32-битной или 64-битной ОС Windows XP, Vista, 7, 10 или Server 2008. Разработанное с использованием структуры «клиент/сервер», приложение Process Eye Professional поддерживает протокол TCP / IP для полной совместимости на сетевом уровне.

Создание сценариев процесса упрощается с помощью функции “Recipe Wizard” [Мастер сценариев], которая позволяет настраивать уровни предупреждений и аварийных сигналов, которые срабатывают если процесс превышает заданные уровни. Process Eye Professional также указывается, каким образом Vision 2000-C или Vision 2000-E получают, отображают и хранят данные. Другие ключевые параметры, такие как настройки источника ионов, могут быть установлены с помощью Process Eye Professional. Это позволяет пользователю самостоятельно оптимизировать настройки для каждой фазы процесса. Например, идеальные настройки для базовой линии могут быть установлены в базовом сценарии, идеальные настройки для мониторинга процесса могут быть установлены в сценарии процесса и и т. д. Process Eye Professional расширяет возможности Vision 2000-C и Vision 2000-E, обеспечивая:

• Автоматическое и интеллектуальное управление АОГ MKS Spectra с полностью настраиваемыми элементами управления и сигналами тревоги.
• Гибкие возможности сканирования
   о Режимы сканирования «Гистограмма», «Аналоговый» и «Пиковый переход», которые можно смешивать и связывать с отображением текущих данных.
• Интеллектуальные, определяемые пользователем предупреждения и сигналы тревоги
   о Может включать в себя диагностику состояния неисправности и рекомендации по ее решению
• Данные отображаются в соответствующих единицах измерения, таких как Торр, мбар или Па в технологической камере
• Дополнительная возможность считывания данных с других датчиков с использованием аналоговых входов и внешних событий с помощью цифровых входов
• Буфер данных для быстрого онлайн просмотра последних данных
• Полное хранение всех данных для последующего просмотра и анализа