Пост вакуумный универсальный ВУП-7 предназначен для исследовательских работ по распылению металлов, полупроводников и диэлектриков с помощью: DC и RF магнетронов, термического и электронно-лучевого испарителей.
Предельное остаточное давление в рабочем объеме, Pa:
| 2×10 -4 6×10 -4 | |
| Диаметр мишени магнетрона, mm | 52 | |
Блок питания DC:
| 1000 500 | |
Блок питания RF:
| 13,56 500 | |
Блок питания ЭЛИ:
| 4 200 20 | |
Блок термического испарения:
| 200 | |
| Температура нагрева подложки, °C | 350 | |
| Скорость вращения подложки, rpm | 5 — 15 | |
| Система напуска и стабилизации давления газа | одноканальная (пьезонатекатель) | |
| Размеры рабочего объема, mm | 400×400×400 | |
| Масса прибора, kg, не более | 380 | |
Габаритные размеры, mm
| 690×610×1620 635×610×1150 | |
| Электрическое питание, V | 380 / 220 | |
| Потребляемая мощность, kVA | 4,5 | |