300 mm Resist-Torr состоит из оптимальной комбинации квадрупольного масс-спектрометра с закрытым ионным источником и быстрым капиллярным входом, а также передовых запатентованных алгоритмов, разработанных специально для камер дегазации на ведущих в отрасли 300-мм кластерных инструментах PVD. При использовании с мощными функциями программного обеспечения управления датчиками Process Eye и TOOLweb АОГ, результатом является полностью автоматизированная работа и высоконадежное обнаружение фоторезиста. Внеплановые простои сокращаются, а производительность устройств повышается. • Обнаружение загрязнения фоторезиста при дегазации под высоким давлением (~8 Торр) • Полностью автоматизированный контроль технологического процесса означает отсутствие необходимости в операторе • Расчет индекса PR - показатель уровня загрязнения фоторезиста • Встроенный калибровочный стандарт с автоматическим режимом калибровки обеспечивает долгосрочное сравнение данных и правильную работу системы • Дополнительная функция просмотра данных для увеличения рентабельности инвестиций
Технические данные
| Анализатор | |
| Диапазон измеряемых масс | 1-200 а.е.м. |
| Детектор | Двойной (чаша Фарадея и вторичный электронный множитель) |
| Мин. определяемая концентрация | < 100 ppb для всех распространенных газов, за исключением <10 ppm для H2 |
| Стабильность | ±0,1 а.е.м. за 8 часов работы при стабильной температуре окружающей среды |
| Источник ионов | Высокая чувствительность, закрытый ионный источник |
| Материал катода | Сменные двойные ториевые нити |
| Рабочая температура | температура электроники: 10-40 °C |
| Условия эксплуатации | Относительная влажность 80% (без конденсации) |
Обнаружение загрязнения фоторезиста
Часто бывает трудно понять, когда проблема фоторезиста влияет на производительность 300 мм системы PVD. Даже небольшое количество остаточного резиста, вводимого в течение длительного периода времени, может снизить выход продукции, вызвать загрязнение частиц или медленно загрязнять рабочие камеры, что потребует преждевременной замены комплекта. Крупные попадания фоторезиста могут быть очень дорогостоящими, свыше сотен тысяч долларов за потерянные пластины, особенно если мишень из тантала / меди загрязняется.
Резист может быть случайно введен в системы PVD несколькими способами. Проносясь через Hot Lots открывает дверь для пропуска шагов, таких как полоса сопротивления или даже полный цикл травления и полосы. Это может привести к загрязнению всего технологического инструмента, если пластина не будет остановлена в дегазационной камере. Такие ошибки рабочего процесса могут моментально повлиять на производительность инструмента PVD от одной пластины. Однако более распространенным является неполное удаление резиста. Это может произойти из-за плохо контролируемой конечной точки в золе, например, из-за первой пластины, из-за воздействия холодной камеры или из-за неисправностей встроенных инструментов для травления / удаления полос.
Каждый из этих механизмов может оставить стойкое загрязнение на пластинах, которое в конечном итоге рассматривается как потеря матрицы или высокая плотность частиц в камерах процесса травления распылением. Устойчивость к загрязнению может быть причиной ряда факторов, каждый из которых работает над снижением доступности инструмента, увеличением COO и снижением общей производительности рабочего процесса.
Расчет индекса PR
300 mm Resist-Torr учитывает множество различных параметров ступени дегазации и объединяет эти данные для предоставления информации в виде значимого числа, без необходимости интерпретации пользователем. Это измерение, называемое индексом PR, представляет собой нормализованную меру загрязнения фоторезиста с помощью пластин, который может быть представлен в различных формах для сравнения данных с течением времени.
300 mm Resist-Torr может автоматически прервать обработку любой пластины, без вмешательства оператора, если пластина входит в вакуумную систему с вредными уровнями остаточного фоторезиста, как определено индексом PR.
Трассировка индекса PR для запуска последовательности пластин на литейном заводе с вкрапленными нормальными и известными пластинами, загрязненными PR; красная (сигнальная) и желтая (предупреждающая) линии показывают пределы управления по умолчанию. Трассировка индекса PR для серии тестовых пластин, запущенных на заводе-изготовителе с 300-мм PVD-инструментом.