UVISEL Plus in-situ обеспечивает уникальные комбинации очень высокой скорости, чувствительности, динамического диапазона и точности, благодаря чему прибор способен контролировать осаждение / травление на уровне толщины атомного слоядаже для быстрых процессов. Используя наш новый адаптационный комплект, можно использовать тот же эллипсометр для применения на месте и настольном приложении на гониометре. Переключение между двумя конфигурациями и выравнивание системы очень просто. Эллипсометр UVISEL Plus in-situ управляется программной платформой DeltaPsi2,которая является общей для всех инструментов тонкой пленки HORIBA Jobin Yvon. Программное обеспечение предоставляет возможности сбора данных и моделирования / переработки в режиме реального времени. Расширенные протоколы связи, включая TCP / IP и RS232, были разработаны для производственных сред и потребностей OEM. Максимальная скорость и точность Полностью интегрированный программный пакет для измерения, моделирования и отчетности в режиме реального времени Простое переключение между конфигурациями in-situ и ex-situ Полученная информация Толщина тонкой пленки Оптические константы (n, k) Материальная композиция