CT-W WetScrubber Система CT-W c влажной утилизацией – проверенное решение для очистки выхлопных газов после различных процессов осаждения и травления. Аппарат разработан для очистки от HCl, HF, SiH2Cl2, SiCl4, NH3 и, в целом, от любых кислот и/или щелочей из выхлопных газов, растворимых в воде. Гибкое устройство секции увлажнения: водяная очистка газов, щелочная или кислотная нейтрализация. Система способна эффективно утилизировать потоки газов с большим содержанием соляной и плавиковой кислоты при небольших финансовых затратах. Многоуровневая противоточная заполненная колонна с высокоэффективными распыляющими соплами обеспечат высокую надежность очистки, даже при сильном потоке газа. Система может быть сконфигурирована максимально на четыре независимых входа и быть подключена к реактору с атмосферным и ниже атмосферного давлением и потоком до 500 слм. Благодаря защите входов устройства инертным газом и подогреву (опция), требования к техническому обслуживанию невысокие, как не высоки и затраты на обслуживание.