Эллипсометр Auto SE объединяет максимальную эффективность анализа тонких пленок и простоту работы на приборе. Позволяет проводить исследования в полностью автоматическом режиме, путем нажатия одной кнопки. Измерение образца занимает всего несколько секунд, и результирующий отчет полностью описывает тонкопленочную структуру – толщины слоев, оптические константы, шероховатость поверхности и неоднородность слоев. Прибор даже в стандартной конфигурации оснащен богатым пакетом опций: XYZ столик, наблюдение образца в видеокамеру в реальном времени, автоматический выбор размера аналитического пятна, диагностические датчики для автоматического контроля неисправностей. Широкий набор аксессуаров доступен для большого круга приложений.
Основные преимущества:
| Параметры | Значение |
Спектральный диапазон, нм | 440 – 1000 |
Размеры аналитического пятна: автоматический выбор, мкм | 500x500; 250x500; 250x250; 70x250; |
Система регистрации | ПЗС |
Разрешение, нм | 2 |
Столик образца | вакуумный прижим |
Подстройка по высоте, мм | 40 |
Визуализация образца | ПЗС камера |
Поле наблюдения, мм | 1,33 х 1 |
Разрешение, мкм | 10 |
Гониометр, град | фиксированный при 70 |
Время измерения, сек | менее 2 |
Точность | NIST 100 нм d ± 4 ангстрема, n(632,8 нм) ± 0,002 |
Воспроизводимость | NIST 15 нм ± 0,2 ангстрема |