HORIBA UVISEL Plus Спектроскопический эллипсометр

Основанная на новом электронном модуле обработки данных и высокоскоростном монохроматоре, новая технология FastAcq позволяет выполнять измерения образца от 190 до 2100 нм в течение 3 минут с высоким разрешением .

Основанный на технологии фазовой модуляции, эллипсометр UVISEL Plus обеспечивает мощную оптическую конструкцию, позволяющую непрерывно покрывать спектральный диапазон от 190 до 2100 нм. Высококачественные данные передаются по всему спектральному диапазону с точки зрения высокой точности, измерений с высоким разрешением и превосходного отношения сигнал / шум .

Технология фазовой модуляции характеризует изменения поляризации на высокой частоте (50 кГц) и без какого-либо механического движения. Это приводит к:

• Высокая точность измерений для всех значений (Ψ, Δ)
• Отличное соотношение сигнал / шум от FUV до NIR
• Очень высокая скорость сбора данных до 50 мс / точка, идеальная для кинетических исследований и измерений в реальном времени на месте

Фазно-модулированный эллипсометр UVISEL Plus обеспечивает более высокую чувствительность и точность для характеристики тонких пленок по сравнению с обычными эллипсометрами, использующими вращающиеся элементы . Он позволяет обнаруживать очень тонкие пленки или поверхности раздела, которые не видны другим эллипсометрам, а также характеризовать толстые слои размером до 50 мкм. Измерения и характеристики прозрачных образцов с BACKSIDE отражений просты и точны и не требуют скрипа задних.

Разработанный для повышенной гибкости при измерении тонких пленок, UVISEL Plus предлагает микрочастицы для образцов с образцами, изменяемый угол, этап автоматического картирования и различные аксессуары, что делает его масштабируемым для удовлетворения всех ваших потребностей приложений и бюджета.  Модульная конструкция UVISEL Plus позволяет использовать его в качестве настольного метрологического инструмента или для интеграции на месте в технологических камерах . или рулонные машины.

UVISEL Plus управляется либо программной платформой DeltaPsi2, либо интерфейсом Auto-Soft, который является общим для всех эллипсометров HORIBA. DeltaPsi2 предоставляет полный пакет измерений и моделирования, позволяющий работать как с рутинными, так и с передовыми тонкопленочными приложениями, а интерфейс Auto-Soft обеспечивает интуитивно понятный рабочий процесс для ускорения сбора и анализа данных.

UVISEL Plus и его технология FastAcq являются наиболее универсальным спектроскопическим эллипсометром для измерения толщины тонких пленок и оптических постоянных в областях исследования и обработки материалов, плоских дисплеев, микроэлектроники и фотоэлектрической энергии.

UVISEL Plus считается эталонным эллипсометром для материаловедения.