Модель | VM3020HD | VM4030HD | VM5030HD |
Площадь рабочего стола | 350*250мм | 450*350мм | 550*350мм |
Ход движения (по оси X,Y) | 300*200мм | 400*300мм | 500*300мм |
Ход движения (по оси Z) | 200 (Focus) | 200 (Focus) | 200 (Focus) |
Разрешение | 1um | 1um | 1um |
Погрепшость | ≤(3.0+L/200) (L- длина образца, единица: мм) | ||