Dank optimierter elektrooptischer Systeme liefert die neue Regulus-Serie eine Auflösung von bis zu 0,7 nm für den Regulus8220 / 8230/8240 und 0,8 nm für den Regulus8100. Die Regulus-Serie verwendet eine neue CFE-Pistole (Cold Field Emission), die für hochauflösende Bilder bei niedrigen Beschleunigungsspannungen optimiert ist. Diese CFE-Pistole kann hochauflösende Bilder bis zu 2 Millionen Mal vergrößern.