The Vision 2000-C XD and Vision 2000-E XD systems allow continuous monitoring of a wide range of semiconductor applications, including complete ALD, CVD and etching processes, from basic vacuum to operating pressures up to 700 Torr. Both systems include patented V-lens technology, which takes the proven performance of the Vision 2000-C and Vision 2000-E systems to a new level of sensitivity and reliability previously unattainable in conventional quadrupole mass spectrometry systems. • Control during chamber cleaning, passivation and settling • Increased sensitivity up to 10 times lower masses (<15 ppb) • Reliable discrimination between gases and background • UniBloc fast response inlet valve for sampling at background and process pressures • Wide range integration ALD, CVD and Etch tools
Технические данные
| Анализатор | |
| Диапазон измеряемых масс | 1-300 а.е.м. |
| Детектор | Двойной (чаша Фарадея и вторичный электронный множитель) |
| Макс. рабочее давление | 1*10-3 Торр на входе источника ионов (стандартно), более высокое давление опционально |
| Мин. обнаруживаемое парциальное давление | <2*10-11 Торр (для общего давления <1*10-4 Торр на базовом входе) |
| Мин. определяемая концентрация | <15 ppb газа высокого давления для неинтерферирующих видод |
| Стабильность | ±0,1 а.е.м. за 8 часов работы при постоянной температуре окружающей среды |
| Источник ионов | Закрытый ионный источник высокой проводимости |
| Материал катода | Независимо заменяемые двойные вольфрамовые нити |
| Рабочая температура | температура электроники: 10-40 °C |
Технология V-lens
V-lens Ion Optics Technology - Траектории отрицательных ионов (зеленый), положительных ионов (красный), нейтральных ионов (синий) в ионной оптике V-lens, уменьшающие метастабильный распад.
В процессах дегазации обычно используются инертные газы, такие как аргон или азот. Использование этих газов может быть проблематичным, поскольку они создают повышенный базовый уровень в АОГ из-за большого количества химического фонового шума, вызванного метастабильным распадом. Это приводит к снижению чувствительности, что может быть проблематичным для производителей, которые хотят быстро и легко выявить изменения в следовых газах (которые указывают на проблемы в процессе производства).
Технология V-lens, уникальное решение, помогает преодолеть эту проблему, обеспечивая стабильно низкий массовый независимый базовый уровень и уровни обнаружения в диапазоне низких частот ppb. Это достигается с помощью уникальной ионной оптики, которая использует запатентованный механизм двойной фокусировки и отклонения, который значительно снижает фон и повышает чувствительность (см. Рисунок).
Результатом является газоанализатор с пределами обнаружения в диапазоне низких частот ppb, без ущерба для любого другого аспекта работы прибора.
Эта современная технология АОГ интегрирована с платформой управления Process Eye Professional, основанной на сценариях, настраиваемой пользователем программой. Комбинация V-lens, закрытого ионного источника и автоматизированного входа позволяет осуществлять чувствительный и воспроизводимый контроль полного технологического цикла ALD, CVD или травления.
Максимизируя соотношение между сигналами газа ALD, CVD или камеры травления и газового фона в корпусе анализатора с дифференциальной накачкой, V-lens и закрытым источником ионов обеспечивает обнаружение низкого уровня ppm для следовых загрязнений в технологическом газе.
Дистанционный вакуумный регулятор
Каждая система Vision 2000-C XD и Vision 2000-E XD включает в себя модуль удаленного контроля вакуума, который обеспечивает надежную защиту как технологического инструмента, так и АОГ. Это позволяет полностью управлять и контролировать компонентами системы АОГ (нитями, насосами, впускными клапанами и т. д.) с системного ПК.
Впускной клапан UniBloc
Быстродействующий впускной клапан UniBloc позволяет производить отбор проб как при фоновом, так и при рабочем давлении. При отсутствии отбора проб клапан и анализатор автоматически изолируются от рабочей камеры и продуваются инертным газом. Продувка осуществляется через насосную систему масс-спектрометра, а не через рабочую камеру. Продувка также используется во время прокаливания, сокращая начальное время запуска и время восстановления остаточного фона.
Для отбора проб до 10 Торр имеется специальный 4-клапанный UniBloc для байпасной перекачки, облегчающий более быструю передачу пробного газа на вход, тем самым оптимизируя время отклика на входе. Выше 10 Торр всегда используется 4-клапанная конфигурация. Впускной клапан управляется встроенной электроникой и управляется с помощью сценариев Process Eye Professional.
Необходимый выбор клапана осуществляется автоматически с помощью независимого от газа датчика давления на входе UniBloc, который также обеспечивает считывание общего давления в рабочей камере. Внутренние уплотнения - Kel-F для совместимости с рабочими газами ALD, CVD и травления. Внешние уплотнения выполнены полностью из металла.
Аппаратно-программная платформа управления Process Eye Professional
Анализаторы Vision 2000-C XD и Vision 2000-E XD используют Process Eye Professional. Это очень гибкое модульное приложение использует сценарии, чтобы указать, как прибор сканирует, отображает данные и реагирует на полученные данные. Создание сценариев процесса упрощается с помощью функции “Recipe Wizard” [Мастер сценариев], которая позволяет настраивать уровни предупреждений и аварийных сигналов, которые срабатывают если процесс превышает заданные уровни.
Другие ключевые параметры также могут быть установлены с помощью сценариев. Это позволяет оптимизировать каждый этап процесса. Process Eye Professional обеспечивает:
• Автоматизированную и интеллектуальную работу АОГ MKS
• Сценарии для автоматической калибровки
• Гибкое сканирование - режимы «Гистограмма», «Аналоговый» и «Пиковый скачок» могут быть связаны с отображением текущих данных.
• Диагностику состояния неисправности и рекомендации по ее решению
• Дополнительная возможность считывания данных с других датчиков с помощью аналоговых входов и внешних событий с помощью цифровых входов
• Буфер данных для быстрого онлайн просмотра последних данных
• Полное хранение всех данных для последующего просмотра и анализа
TOOLweb RGA
Используя опцию интеграции датчика RGA TOOLweb для технологических датчиков Vision 2000-C XD и Vision 2000-E можно использовать в качестве датчика камеры дегазации, в условиях полностью автоматизированной производственной среды. TOOLweb АОГ поддерживает постоянный мониторинг функционирования оборудования, используя данные всех датчиков, обрабатываемые микропроцессором, до тех пор, пока не будут обнаружены условия применения моделей аварийных сигналов. Доступна полная передача аварийных сигналов и данных на хост-устройство данных масс-спектрометрии FAB и FDC. Поэтому возможен мониторинг состояния рабочей камеры в режиме реального времени и определение любых отклонений процесса от идеальных условий.