ΠœΠΎΠ΄ΡƒΠ»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ ΠΈ Π³ΠΈΠ±ΠΊΠΈΠ΅ Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΡ для качСствСнного ΠΈ количСствСнного Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·Π° Π³Π°Π·ΠΎΠ² Анализатор высокого давлСния HPA 220 Анализатор высокого давлСния HPA 220 - это Π³ΠΈΠ±ΠΊΠΎΠ΅ ΠΌΠΎΠ΄ΡƒΠ»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅, ΠΎΠΏΡ‚ΠΈΠΌΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠ΅ Π½Π΅ Ρ‚ΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΎ для Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·Π° Π³Π°Π·ΠΎΠ², Π½ΠΎ ΠΈ для процСссов контроля ΠΈ управлСния. Π­Ρ‚Π° идСально подобранная комбинация масс-спСктромСтра ΠΈ сухой турбонасосной станции HiPace поставляСтся с трСмя Π²Π°Ρ€ΠΈΠ°Π½Ρ‚Π°ΠΌΠΈ впуска Π³Π°Π·Π°. Π­Ρ‚ΠΎ позволяСт Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π°Ρ‚ΡŒ Π² Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΉ Π΄ΠΎ 50 гПа. Π’Ρ‹Π±ΠΎΡ€ Π·Π° Π’Π°ΠΌΠΈ! НСзависимо ΠΎΡ‚ Ρ‚ΠΎΠ³ΠΎ, Π½ΡƒΠΆΠ΅Π½ Π»ΠΈ Π’Π°ΠΌ Ρ€ΡƒΡ‡Π½ΠΎΠΉ ΠΈΠ»ΠΈ элСктропнСвматичСский впуск Π³Π°Π·Π°, HPA 220 всСгда Π±ΡƒΠ΄Π΅Ρ‚ ΠΈΠ΄Π΅Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ для вашСй сфСры примСнСния. Устройство контроля напылСния SPM 220 Благодаря устройству контроля напылСния SPM 220, компания ΠΏΡ€Π΅Π΄Π»Π°Π³Π°Π΅Ρ‚ идСальноС Ρ€Π΅ΡˆΠ΅Π½ΠΈΠ΅ для качСствСнного ΠΈ количСствСнного Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·Π° Π³Π°Π·ΠΎΠ² Π² процСссах напылСния. ΠšΠΎΠΌΠ±ΠΈΠ½Π°Ρ†ΠΈΡ турбонасосной станции HiPace с масс-спСктромСтром с источником ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ² SPM с Π΄ΠΈΡ„Ρ„Π΅Ρ€Π΅Π½Ρ†ΠΈΠ°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ ΠΏΠ΅Ρ€Π΅ΠΊΠ°Ρ‡ΠΊΠΎΠΉ Π΄Π΅Π»Π°Π΅Ρ‚ Π΅Π³ΠΎ ΠΈΠ΄Π΅Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ для примСнСния Π² Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π΅ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΉ Π΄ΠΎ10 гПа. На рисункС ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π½ схСматичСский Π²ΠΈΠ΄ Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·Π°Ρ‚ΠΎΡ€Π° Π² сборС, соСдинСнного с тСхнологичСской ΠΊΠ°ΠΌΠ΅Ρ€ΠΎΠΉ. ΠšΠΎΡ€ΠΎΡ‚ΠΊΠ°Ρ ΡˆΠΈΡ€ΠΎΠΊΠ°Ρ Ρ‚Ρ€ΡƒΠ±ΠΊΠ° ΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΡƒΠ΅Ρ‚ соСдинСниС с тСхнологичСской Π·ΠΎΠ½ΠΎΠΉ. Π˜ΡΡ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΈΠΊ ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ² постоянно ΠΎΡ‚ΠΊΡ€Ρ‹Ρ‚ Π² Ρ‚Π΅Ρ…Π½ΠΎΠ»ΠΎΠ³ΠΈΡ‡Π΅ΡΠΊΡƒΡŽ ΠΊΠ°ΠΌΠ΅Ρ€Ρƒ, Π½ΠΎ Π½Π΅ ΠΏΡ€ΠΎΡ…ΠΎΠ΄ΠΈΡ‚ Π²Π½ΡƒΡ‚Ρ€ΡŒ Π½Π΅Π΅. Благодаря особой конструкции SPM 220 Π² ΠΈΠΎΠ½ΠΈΠ·Π°Ρ†ΠΈΠΎΠ½Π½ΠΎΠΉ ΠΊΠ°ΠΌΠ΅Ρ€Π΅ источника ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ² поддСрТиваСтся Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‡Π΅Π΅ Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅, Π° для Π½ΠΈΡ‚Π΅ΠΉ накаливания ΠΈ ΠΎΡΡ‚Π°Π»ΡŒΠ½ΠΎΠΉ части масс-спСктромСтра поддСрТиваСтся высокоС Ρ€Π°Π·Ρ€Π΅ΠΆΠ΅Π½ΠΈΠ΅. Π˜ΡΡ‚ΠΎΡ‡Π½ΠΈΠΊ ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ² снабТСн ΡˆΡ‚ΡƒΡ†Π΅Ρ€Π°ΠΌΠΈ для ΠΈΠ½ΠΆΠ΅ΠΊΡ†ΠΈΠΈ элСктронов ΠΈ ΠΎΡ‚Π²ΠΎΠ΄Π° ΠΈΠΎΠ½ΠΎΠ². Π­Ρ‚ΠΎ позволяСт ΠΎΠ±Π½Π°Ρ€ΡƒΠΆΠΈΡ‚ΡŒ Π΄Π°ΠΆΠ΅ Π½Π΅Π·Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Ρ‹Π΅ примСси Π² тСхнологичСском Π³Π°Π·Π΅ с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ Π°ΠΊΡ‚ΠΈΠ²Π½Ρ‹Ρ… Π³Π°Π·ΠΎΠ². Π­Ρ‚ΠΎ Ρ‚Π°ΠΊΠΆΠ΅ эффСктивно ΠΏΡ€Π΅Π΄ΠΎΡ‚Π²Ρ€Π°Ρ‰Π°Π΅Ρ‚ искаТСниС ΠΏΠΎΠΊΠ°Π·Π°Π½ΠΈΠΉ ΠΈΠ·-Π·Π° ΠΎΠ±Ρ€Π°Ρ‚Π½ΠΎΠΉ Π΄ΠΈΡ„Ρ„ΡƒΠ·ΠΈΠΈ ΠΈΠ· ΠΊΠ°ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹ Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·Π°Ρ‚ΠΎΡ€Π°.


  • SKU: EL004487
  • Price: 


More Details


ΠžΠ±Π·ΠΎΡ€ HPA 220

HPA-SPM opisanie

1,2) Π˜Π½Ρ‚Π΅Ρ€Ρ„Π΅ΠΉΡ ΠΊΠ»Π°ΠΏΠ°Π½Π° HPI 040
Π‘ Ρ€ΡƒΡ‡Π½Ρ‹ΠΌ ΠΈΠ»ΠΈ элСктропнСвматичСским ΡƒΠΏΡ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ. Бостоит ΠΈΠ· Ρ‚Ρ€Π΅Ρ… ΠΊΠ»Π°ΠΏΠ°Π½ΠΎΠ², Π·Π°ΠΏΠΎΡ€Π½ΠΎΠ³ΠΎ ΠΊΠ»Π°ΠΏΠ°Π½Π° с ΡΠΈΠ»ΡŒΡ„ΠΎΠ½Π½Ρ‹ΠΌ ΡƒΠΏΠ»ΠΎΡ‚Π½Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ с Π½ΠΎΠΌΠΈΠ½Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠΌ DN 40 CF для Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·Π° остаточных Π³Π°Π·ΠΎΠ² ΠΈΠ»ΠΈ обнаруТСния ΡƒΡ‚Π΅Ρ‡Π΅ΠΊ Π΄ΠΎ <5·10-7 гПа ΠΈ Π΄Π²ΡƒΡ… ΠΊΠ»Π°ΠΏΠ°Π½ΠΎΠ² со смСнными ΡˆΡ‚ΡƒΡ†Π΅Ρ€Π°ΠΌΠΈ Π½Π° пСрСпускС. ΠŸΡ€ΠΈΠ»Π°Π³Π°Π΅Ρ‚ΡΡ ΠΎΠ΄ΠΈΠ½ ΡˆΡ‚ΡƒΡ†Π΅Ρ€ 0.03 ΠΌΠΌ для Ρ€Π°ΡΡˆΠΈΡ€Π΅Π½ΠΈΡ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π° Π΄ΠΎ 8 гПа (N2).

3,4) Π”Π²ΠΎΠΉΠ½ΠΎΠΉ Π·Π°ΠΏΠΎΡ€Π½Ρ‹ΠΉ ΠΊΠ»Π°ΠΏΠ°Π½
Π‘ Ρ€ΡƒΡ‡Π½Ρ‹ΠΌ ΠΈΠ»ΠΈ элСктропнСвматичСским ΡƒΠΏΡ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ. Бостоит ΠΈΠ· Π΄Π²ΡƒΡ… Π·Π°ΠΏΠΎΡ€Π½Ρ‹Ρ… ΠΊΠ»Π°ΠΏΠ°Π½ΠΎΠ² с ΡΠΈΠ»ΡŒΡ„ΠΎΠ½Π½Ρ‹ΠΌ ΡƒΠΏΡ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ, сварСнных Π΄Ρ€ΡƒΠ³ с Π΄Ρ€ΡƒΠ³ΠΎΠΌ. Один Π·Π°ΠΏΠΎΡ€Π½Ρ‹ΠΉ ΠΊΠ»Π°ΠΏΠ°Π½ с Π½ΠΎΠΌΠΈΠ½Π°Π»ΡŒΠ½Ρ‹ΠΌ Π΄ΠΈΠ°ΠΌΠ΅Ρ‚Ρ€ΠΎΠΌ DN 40 CF для Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·Π° остаточных Π³Π°Π·ΠΎΠ² ΠΈΠ»ΠΈ обнаруТСния ΡƒΡ‚Π΅Ρ‡Π΅ΠΊ Π΄ΠΎ <1·10-4 гПа ΠΈ Π²Ρ‚ΠΎΡ€ΠΎΠΉ Π·Π°ΠΏΠΎΡ€Π½Ρ‹ΠΉ ΠΊΠ»Π°ΠΏΠ°Π½ со смСнным ΡˆΡ‚ΡƒΡ†Π΅Ρ€ΠΎΠΌ. ΠŸΠΎΡΡ‚Π°Π²Π»ΡΠ΅Ρ‚ΡΡ с ΡƒΠΆΠ΅ установлСнным ΡˆΡ‚ΡƒΡ†Π΅Ρ€ΠΎΠΌ 0,1 ΠΌΠΌ для Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π° Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠΉ 0.05-0.5 гПа (N2).

5) Π”ΠΎΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΎΡ‡Π½Ρ‹ΠΉ ΠΊΠ»Π°ΠΏΠ°Π½ Π³Π°Π·Π° UDV 040
Π’Ρ€ΡƒΡ‡Π½ΡƒΡŽ настраиваСмый Π΄ΠΎΠ·ΠΈΡ€ΠΎΠ²ΠΎΡ‡Π½Ρ‹ΠΉ ΠΊΠ»Π°ΠΏΠ°Π½ Π³Π°Π·Π° для Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½Π° давлСния 1·10-3 Π΄ΠΎ 50 гПа. Максимально Π²ΠΎΠ·ΠΌΠΎΠΆΠ½Ρ‹ΠΉ ΠΈ ΠΏΡ€ΠΈΠ΅ΠΌΠ»Π΅ΠΌΡ‹ΠΉ Π΄ΠΈΠ°ΠΏΠ°Π·ΠΎΠ½ давлСния опрСдСляСтся, Π² частности, ΡƒΠ²Π΅Π»ΠΈΡ‡ΠΈΠ²Π°ΡŽΡ‰ΠΈΠΌΡΡ ΠΎΡ‚Π΄Π΅Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π³Π°Π·Π°, ΠΊΠΎΡ‚ΠΎΡ€ΠΎΠ΅ происходит ΠΏΡ€ΠΈ Π²ΠΎΠ·Ρ€Π°ΡΡ‚Π°ΡŽΡ‰ΠΈΡ… давлСниях.

ΠžΠ±Π·ΠΎΡ€ прСимущСств:

  • Π—Π½Π°Ρ‡ΠΈΡ‚Π΅Π»ΡŒΠ½Π°Ρ Π³ΠΈΠ±ΠΊΠΎΡΡ‚ΡŒ благодаря 5 Π²Π°Ρ€ΠΈΠ°Π½Ρ‚Π°ΠΌ впуска Π³Π°Π·Π° с Ρ€ΡƒΡ‡Π½Ρ‹ΠΌ ΠΈΠ»ΠΈ элСктропнСвматичСским ΡƒΠΏΡ€Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ для Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·Π°, контроля ΠΈ управлСния процСссами с Π΄Π°Π²Π»Π΅Π½ΠΈΠ΅ΠΌ Π΄ΠΎ 50 гПа.
  • ΠŸΡ€ΠΎΡΡ‚Π°Ρ ΠΈ гибкая интСграция Π² систСму благодаря Ρ€Π°Π·Π½Ρ‹ΠΌ Ρ†ΠΈΡ„Ρ€ΠΎΠ²Ρ‹ΠΌ ΠΈ Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΎΠ²Ρ‹ΠΌ Π²Ρ…ΠΎΠ΄Π°ΠΌ ΠΈ Π²Ρ‹Ρ…ΠΎΠ΄Π°ΠΌ.
  • Многоканальная Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π° позволяСт ΠΎΡ†Π΅Π½ΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Π΄Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ ΠΎΡ‚ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΈΡ… масс-спСктромСтров с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ ПК.
  • ΠšΠΎΠΌΠΏΠ°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Π΅ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹ для Π³ΠΈΠ±ΠΊΠΎΠΉ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ.

ΠžΠ±Π·ΠΎΡ€ SPM 220

SPM 200 opisanie

ΠžΠ±Π·ΠΎΡ€ прСимущСств:

  • SPM ΠΈΠΎΠ½Π½Ρ‹ΠΉ источник Π΄Π»Ρ ΠΌΠ³Π½ΠΎΠ²Π΅Π½Π½ΠΎΠ³ΠΎ контроля процСсса
  • ΠŸΡ€Π΅Π²ΠΎΡΡ…ΠΎΠ΄Π½Ρ‹Π΅ ΠΏΡ€Π΅Π΄Π΅Π»Ρ‹ для обнаруТСния H2, O2, H2O ΠΈ CO2
  • МинимальноС влияниС Ρ„ΠΎΠ½Π° Π½Π° Ρ€Π΅Π·ΡƒΠ»ΡŒΡ‚Π°Ρ‚ измСрСния
  • Для нСпосрСдствСнного Π°Π½Π°Π»ΠΈΠ·Π°, ΠΌΠΎΠ½ΠΈΡ‚ΠΎΡ€ΠΈΠ½Π³Π° ΠΈ контроля процСссов давлСния Π΄ΠΎ 10-2 гПа
  • Многоканальная Ρ€Π°Π±ΠΎΡ‚Π° позволяСт ΠΎΡ†Π΅Π½ΠΈΠ²Π°Ρ‚ΡŒ Π΄Π°Π½Π½Ρ‹Π΅ ΠΎΡ‚ Π½Π΅ΡΠΊΠΎΠ»ΡŒΠΊΠΈΡ… масс-спСктромСтров с ΠΏΠΎΠΌΠΎΡ‰ΡŒΡŽ ΠΎΠ΄Π½ΠΎΠ³ΠΎ ПК.
  • ΠšΠΎΠΌΠΏΠ°ΠΊΡ‚Π½Ρ‹Π΅ Ρ€Π°Π·ΠΌΠ΅Ρ€Ρ‹ для Π³ΠΈΠ±ΠΊΠΎΠΉ ΠΈΠ½Ρ‚Π΅Π³Ρ€Π°Ρ†ΠΈΠΈ
  • ΠŸΡ€ΠΎΡΡ‚Π°Ρ ΠΈ гибкая систСмная интСграция благодаря Ρ€Π°Π·Π½ΠΎΠΎΠ±Ρ€Π°Π·ΠΈΡŽ Ρ†ΠΈΡ„Ρ€ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… ΠΈ Π°Π½Π°Π»ΠΎΠ³ΠΎΠ²Ρ‹Ρ… Π²Ρ…ΠΎΠ΄ΠΎΠ² ΠΈ Π²Ρ‹Ρ…ΠΎΠ΄ΠΎΠ².