The EBT series are mechanical bearing turbomolecular pumps that complement the EMT MagLev turbomolecular pump range. The EBT series are highly efficient, cost effective solutions for high vacuum applications.
Турбомолекулярные насосы EBARA серии EBT имеют чрезвычайно прочную конструкцию механического подшипника, которая обеспечивает чистое и надежное создание вакуума для современного высокотехнологичного производства. Типичные области применения включают полупроводниковые, тонкопленочные, фотоэлектрические и аналитические приборы.
Турбомолекулярные насосы EBARA серии EBT могут устанавливаться в любой ориентации и идеально подходят для подвижных частей вакуумной камеры. Эти насосы обеспечивают высокую скорость откачки и высокую степень сжатия легкого газа, что делает их идеальными для СВ и аналитических систем.
Турбомолекулярные насосы EBARA серии EBT
| Характеристики моделей | EBT70F | EBT220F | EBT240F | EBT350F | EBT450F |
| Быстрота действия по азоту (водороду), л/с | 75 (45) | 220 (100) | 240 (160) | 330 (210) | 450 (240) |
| Предельное остаточное давление, Па | 10-7 | 10-6 | 5×10-7 | 10-6 | 10-6 |
| Максимальная степень сжатия по азоту | 108 | 108 | 108 | 108 | 108 |
| Размер фланцев (вход/выход) | NW63/KF16 | NW100/KF25 | NW100/KF25 | NW100/KF25 | NW160/KF25 |
| Рекомендуемая производительность форвакуумного насоса – более, л/мин | 25 | 80 | 80 | 80 | 80 |
| Время запуска, мин | 2-2,5 | 1-1,2 | 5,5-7,5 | 2-2,5 | 2-2,5 |
| Время остановки, мин | 20-25 | 2,5-3,5 | 45-50 | 5-6,5 | 5-6,5 |
| Масса, кг | 5 | 8 | 10,5 | 6 | 10 |
| Характеристики моделей | EBT800F | EBT1100F | EBT1400F | EBT2400F | |||
| Быстрота действия по азоту (водороду), л/с | 820 (650) | 1100 (720) | 1400 (750) | 2400 (1100) | |||
| Предельное остаточное давление, Па | 10-6 | 10-6 | 10-6 | 10-6 | |||
| Максимальная степень сжатия по азоту | 108 | 108 | 108 | 108 | |||
| Размер фланцев (вход/выход) | NW160/KF40 | NW200/KF40 | NW200/KF40 | NW250/KF40 | |||
| Рекомендуемая производительность форвакуумного насоса – более, л/мин | 250 | 250 | 250 | 500 | |||
| Время запуска, мин | 7-9 | 7-9 | 5,5-7 | 5-7 | |||
| Время остановки, мин | 27-32 | 27-32 | 15-18 | 15-18 | |||
| Масса, кг | 27 | 27 | 29 | 47 | |||