Аппарат CT-Plasma – это комбинация из источника плазмы и влажной промывочной секции, которая обеспечивает высокую производительность очистки от фтороуглеродов без сжигания газа. Движущей силой данной разработки было уменьшение выброса фтороуглеродов (C2F6, CF4, C3F8 и пр.), так как эти соединения вносят долю в процесс глобального потепления из-за длительного времени разложения в атмосфере, даже при малых выбросах. Кроме того, так как не требуются ни сжигающий газ, ни большое потребление электрической энергии, себестоимость снижается, по сравнению с другими видами утилизации. Основной концепцией, заложенной в аппарат CT-Plasma, является разложение фтороуглеродов и продуктов их реакции плазмой с последующей немедленной промывкой. Не появляются нежелательные химические соединения после обработки плазмой, нет риска образования фтороводорода в вакуумном насосе, нет риска коррозии и нет риска обратного диффузионного всасывания частиц в камеру процесса.