Серия EBT — это турбомолекулярные насосы с механическими подшипниками, дополняющие линейку турбомолекулярных насосов EMT MagLev. Серия EBT — это высокоэффективные, экономически эффективные решения для работы в условиях высокого вакуума.
Турбомолекулярные насосы EBARA серии EBT имеют чрезвычайно прочную конструкцию механического подшипника, которая обеспечивает чистое и надежное создание вакуума для современного высокотехнологичного производства. Типичные области применения включают полупроводниковые, тонкопленочные, фотоэлектрические и аналитические приборы.
Турбомолекулярные насосы EBARA серии EBT могут устанавливаться в любой ориентации и идеально подходят для подвижных частей вакуумной камеры. Эти насосы обеспечивают высокую скорость откачки и высокую степень сжатия легкого газа, что делает их идеальными для СВ и аналитических систем.
Турбомолекулярные насосы EBARA серии EBT
| Характеристики моделей | EBT70F | EBT220F | EBT240F | EBT350F | EBT450F |
| Быстрота действия по азоту (водороду), л/с | 75 (45) | 220 (100) | 240 (160) | 330 (210) | 450 (240) |
| Предельное остаточное давление, Па | 10-7 | 10-6 | 5×10-7 | 10-6 | 10-6 |
| Максимальная степень сжатия по азоту | 108 | 108 | 108 | 108 | 108 |
| Размер фланцев (вход/выход) | NW63/KF16 | NW100/KF25 | NW100/KF25 | NW100/KF25 | NW160/KF25 |
| Рекомендуемая производительность форвакуумного насоса – более, л/мин | 25 | 80 | 80 | 80 | 80 |
| Время запуска, мин | 2-2,5 | 1-1,2 | 5,5-7,5 | 2-2,5 | 2-2,5 |
| Время остановки, мин | 20-25 | 2,5-3,5 | 45-50 | 5-6,5 | 5-6,5 |
| Масса, кг | 5 | 8 | 10,5 | 6 | 10 |
| Характеристики моделей | EBT800F | EBT1100F | EBT1400F | EBT2400F | |||
| Быстрота действия по азоту (водороду), л/с | 820 (650) | 1100 (720) | 1400 (750) | 2400 (1100) | |||
| Предельное остаточное давление, Па | 10-6 | 10-6 | 10-6 | 10-6 | |||
| Максимальная степень сжатия по азоту | 108 | 108 | 108 | 108 | |||
| Размер фланцев (вход/выход) | NW160/KF40 | NW200/KF40 | NW200/KF40 | NW250/KF40 | |||
| Рекомендуемая производительность форвакуумного насоса – более, л/мин | 250 | 250 | 250 | 500 | |||
| Время запуска, мин | 7-9 | 7-9 | 5,5-7 | 5-7 | |||
| Время остановки, мин | 27-32 | 27-32 | 15-18 | 15-18 | |||
| Масса, кг | 27 | 27 | 29 | 47 | |||