Турбомолекулярные насосы серии EMT представляют собой 5-осевые вакуумные насосы с магнитным подвесом, абсолютно безмасляные. Эти насосы подходят для различных применений, начиная с самой жесткой полупроводниковой промышленности, а также там, где необходимо применение сверхвысокого вакуума и сверхнизких вибраций.
Турбомолекулярные насосы со сверхвысоким вакуумом эффективно откачивают самые легкие газы из области высокого вакуума в область сверхвысокого вакуума, уменьшая выделение газа и повышая эффективность сжатия водорода. Модель сверхвысоковакуумного турбомолекулярного насоса может достигать 10-10 мбар (10-8 Па) с коротким периодом обжига.
Уникальная конструкция подшипникового узла, способная выдерживать резкие скачки давления при прорыве атмосферы.
| Характеристики моделей | EMT390M | EMT420M | EMT900M | EMT1300M | EMT2400M | EMT3260M |
| Быстрота действия по азоту (водороду), л/с | 340 (290) | 400 (300) | 900 (1050) | 1300 (1200) | 2400 (1100) | 3200 (2700) |
| Предельное остаточное давление, Па | 10-6 | 10-6 | 10-6 | 10-6 | 10-6 | 10-6 |
| Максимальная степень сжатия по азоту | 108 | 108 | 108 | 108 | 108 | 108 |
| Максимальный газовый поток по азоту (аргону), Па*л/c | 3680(1290) | 3680(1290) | 5520(2760) | 5520(2760) | 5520(3680) | 5520(3680) |
| Скорость вращения ротора об/мин | 40800 | 48000 | 33600 | 33600 | 33600 | 33600 |
| Размер фланцев (вход/выход) | NW100/NW25 | NW160/NW25 | NW160/NW25 | NW200/NW40 | NW250/NW40 | NW320/NW40 |
| Допустимое выходное давление, Па | 400 | 400 | 500 | 500 | 200 | 400 |
| Длительность запуска, мин | 2-3 | 2-3 | 4-5 | 4-5 | 4-5 | 4-5 |
| Длительность остановки, мин | 4-5 | 4-5 | 4-5 | 4-5 | 4-5 | 4-5 |
| Масса, кг | 14 | 14 | 34 | 34 | 45 | 80 |
Турбомолекулярные насосы EBARA серии EMT-K с магнитным подвесом и встроенным контроллером
| Характеристики моделей | EMT2200MK | EMT3300MK | EMT4200MK |
| Быстрота действия по азоту (водороду), л/с | 2200 (1800) | 3200(2700) | 4200(2800) |
| Предельное остаточное давление, Па | 10-6 | 10-6 | 10-6 |
| Максимальная степень сжатия по азоту | 108 | 108 | 108 |
| Размер фланцев (вход/выход) | ISO-B250/NW40(NW50) | ISO-B320/NW40 | ISO-B350/NW40-50 |
| Допустимое выходное давление, Па | 400 | 400 | 160 |
| Максимальный газовый поток по азоту Па*л/c | 4400 | 4000 | 2500 |
| Длительность запуска, мин | 7-10 | 10-12 | 12-14 |
| Масса, кг | 63 | 69 | 75 |