HiPace M hybrid turbomolecular pumps on magnetic suspension
The HiPace M series of high vacuum turbomolecular pumps are magnetically suspended pumps. The pumps are maintenance-free due to the absence of classic ball bearings and, accordingly, friction pairs. The pumps use an active 5-axis rotor balancing system. During operation, there is an automatic compensation of the spatial position of the rotor in case of imbalance
- SKU: EL004408
- Price:
More Details
Система автоматической балансировки:
Система автоматической балансировки по 5-ти осям
Роторы насосов снабжены системой автоматической балансировки по 5-ти осям. Балансировка осуществляются в реальном времени. Контроллер обнаруживает дисбаланс, сравнивая показания датчика положения по каждой из осей с эталонным банком данных и вырабатывает управляющий сигнал на соответствующее изменение тока в электромагнитах. Автоматическая балансировка позволяет насосу эффективно работать даже в условиях интенсивного осаждения загрязнений на лопастях и исключить возникновение вибраций.
Технические характеристики высоковакуумных турбомолекулярных насосов на магнитном подвесе серии HiPace M
| Модель | HiPace 300 M | HiPace 700 M | HiPace 800 M |
| Габаритные размеры |  |  |  |
| Откачные кривые N2 - чёрная кривая He - синяя кривая H2 - красная кривая Ar - зелёная кривая |  |  |  |
| Фланец - всасывания, ISO-K, ISO-F, CF - выхлопа, ISO-KF - напуска атмосферы | DN100 DN16 G1/8" | DN160 DN25 G1/8" | DN200 DN25 G1/8" |
| Скорость откачки, л/с - по Азоту (N2) - по Гелию (Не) - по Водороду (Н2) - по Аргону (Ar) | 255 215 170 250 | 685 600 480 660 | 790 625 500 775 |
| Степень сжатия - по Азоту (N2) - по Гелию (Не) - по Водороду (Н2) - по Аргону (Ar) | >1*1011 >1*108 5*105 >1*1011 | >1*1011 >1*107 2*105 >1*1011 | >1*1011 >1*107 2*105 >1*1011 |
| Предельное разряжение, мбар | < 1*10-7 | < 1*10-7 | < 1*10-7 |
| Максимальное рабочее давление на выхлопе, мбар | 20 | 8 | 8 |
| Скорость вращения ротора, об/мин | 60 000 | 49 200 | 49 200 |
| Тип охлаждения | водяное | водяное | водяное |
| Питание/потребляемая мощность | 48В/300Вт | 48В/300Вт | 48В/300Вт |
| Вес, кг | 13,1 - 17,2 | 15,7 - 20,8 | 17,1 - 21,5 |