The ATP2300M pump is a high performance solution for vacuum applications where high pumping speed is required simultaneously with high flow rates (up to 3000 cm3 / min nitrogen).
Также насос применяется, как для легких, так и для агрессивных процессов в различных областях промышленности:
-ионная имплантация
-HDPCVD процессы
-напыление
-напыление тонкоплёночных покрытий
-научные исследования и прочее
Особенности и преимущества:
-высокое среднее время наработки на отказ
-низкий уровень шума и вибраций
-абсолютно безмасляный вакуум
-компактные размеры
-магнитный подвес не требующий обслуживания
-установка в любой ориентации
-регулируемая скорость вращения ротора для оптимизации параметров откачки
-модификация со встроенным контроллером
| Характеристика | ед. изм. | ATP 2300M | ||
| Присоединительный фланец | DN200 ISO F, CF | DN250 ISO F, CF | ||
| Скорость откачки по | N2 | л/сек | 1250 | 1750 |
| Ar | 1200 | 1650 | ||
| He | 1700 | 1800 | ||
| H2 | 1700 | 1700 | ||
| Степень сжатия по | N2 | 108 | ||
| Ar | 108 | |||
| He | 105 | |||
| H2 | 7*103 | |||
| Частота вращения | об/мин | 31 000 | ||
| Минимальное остаточное давление | мбар | 10-9 | ||
| Макс. давление на входе | 0,05 | |||
| Макс. давление на выхлопе | 1,5 | |||
| Расход воды на охлаждение | л/час | 60 | ||
| Габаритные размеры | высота | мм | 290 | |
| диаметр | 315 | |||
| Масса | кг | 52 | ||