The HiPace series of high vacuum turbomolecular pumps includes a full range of compact and powerful turbo pumps with speeds from 10 to 800 l / s. This provides high cost efficiency and flexibility. All pumps in this series can work in any position. Hybrid pump rotor suspension technology and proven bearing system guarantee unrivaled reliability. Thanks to the innovative rotor design, the HiPace series pumps achieve high pumping speeds and compression ratios for light gases, high flow rates and compatibility with low-flow foreline pumps.
Особенностью конструкции турбомолекулярных насосов серии HiPace является технология гибридного подвеса ротора. Это сочетание керамического шарикового подшипника установленного в форвакуумной зоне и магнитного радиального подшипника на стороне высокого вакуума, который радиально центрирует ротор. Небольшой безмасляный защитный подшипник находится внутри статора магнитного подшипника. При нормальной работе вал свободно вращается внутри подшипника. В случае сильных радиальных ударов защитный подшипник стабилизирует ротор, при этом вращаясь только в течение непродолжительного времени. Технология не требует применения электромагнитов. Магнитный подшипник практически не изнашивается и не требует обслуживания. Применение такой схемы дало возможность использования только одного шарикового подшипника малого диаметра, что в свою очередь позволяет использовать высокие скорости вращения ротора без снижения ресурса самого подшипника.
Керамический подшипник обслуживается интервалом около 4 лет. Сам подшипник или резервуар может быть заменён на месте установки насоса в течение 30 минут. Ресурс нижнего подшипника также увеличивается за счет уникальной системы смазки. Система исключает попадание различных микрочастиц в подшипник, которые могут значительно сократить его срок службы, как это может происходить с подшипниками на консистентной смазке.
Все насосы серии имеют интегрированный контроллер, что позволяет избежать использования дорогостоящих кабелей. Кроме того, они могут поставляться с различными версиями интерфейсов. Котроллеры имеют широкие функциональные возможности по настройке насоса под конкретный процесс и управления внешними устройствами, такими как форвакуумные насосы, клапаны продувки, клапаны вентиляции.
Все насосы серии оснащены датчиками температуры и датчиками Холла, которые позволяют пользователю контролировать состояние насоса во время работы и проводить оптимизацию. Эти же датчики включены в автоматическую интеллектуальную систему защиты насоса от перегрузок.