Система Scios обеспечивает лучшую в своем классе производительность при подготовке ПЭМ-образцов и трехмерной характеризации материалов для самого широкого спектра образцов, включая магнитные и непроводящие материалы, когда требуется высокое разрешение и широкие аналитические возможности. Уникальная технология детектирования Thermo Scientific Trinity ™, встроенная в линзу, в сочетании с системой торможения пучка может одновременно детектировать низкоэнергетичные электроны (от 20 эВ) с различным углом выхода и позволяет получать высококонтрастные изображения морфологии поверхности сверхвысокого разрешения. Scios может поставляться в низковакуумном исполнении, что в сочетании с широким диапазоном токов пучка (от 1 пА до 400 нА), большой камерой для образцов, мультифункциональным столиком и широким выбором детекторов позволяет использовать прибор в качестве высокопроизводительной аналитической системы в широком спектре применений.
Основные преимущества:
Тип микроскопа | Двухлучевая система |
Область применения | Материаловедение |
Направление деятельности | 3D-анализ |
Объекты интереса | 11 нм – 100 нм |
Характеристики электронной пушки: | |
Тип катода | Автоэмиссионный катод типа Шоттки |
Максимальное разрешение, нм | 0,7 (SE) |
Диапазон ускоряющего напряжения, В | 200–30 000 |
Минимальная энергия приземления электронов, эВ | 20 |
Максимальный ток зонда, нА | 400 |
Предметный столик | |
Тип столика | |
Мультифункциональный на 18 держателей 12 мм | Наличие |
Пьезо | Нет |
Механический | Наличие |
Максимальный вес образца, г | 500 |
Максимальный размер образца, Ø мм | 122 |
Ход по осям X и Y, мм | 110 × 110 |
Воспроизводимость по осям X и Y, мкм | < 3,0 |
Ход по оси Z, мм | 65 |
Поворот, град. | 360 |
Наклон, град. | -15 / +90 |
Ширина камеры, мм | 340 |
Количество портов для установки дополнительных детекторов, шт. | 12 |
Детекторы: | |
Детектор вторичных электронов Эверхарта-Торнли (ETD) | Наличие |
ИК-камера для наблюдения положения образца в камере | Наличие |
Навигационная камера высокого разрешения Nav-Cam+™ | Наличие |
Интегрированная система измерения тока луча | Наличие |
Детектор вторичных электронов для низкого вакуума (LVD) | Опция |
T1 – нижний внутрилинзовый детектор | Наличие |
T2 – верхний внутрилинзовый детектор | Наличие |
T3 – внутриколонный детектор | Наличие |
Внутрилинзовый детектор Elstar SE/BSE (TLD-SE, TLD-BSE) | Нет |
Внутриколонный детектор Elstar SE/BSE (ICD) | Нет |
Внутриколонный детектор Elstar BSE (MD) | Нет |
Детектор направленных обратно-отраженных электронов (DBS) | Опция |
Газовый аналитический детектор обратно-отраженных электронов DBS-GAD | Наличие |
Детектор прошедших электронов STEM 3+ | Опция |
Детектор для катодолюминесценции (CL) | Опция |
Детектор Raman | Опция |
EDS | Опция |
EBSD/WDS | Опция |
Режимы вакуума: | |
Высокий вакуум, Па | <6,0 × 10⁻⁴ |
Низкий вакуум, Па | 500 |
Безмасляная вакуумная система | Наличие |
Характеристики ионной пушки: | |
Ga+ | Наличие |
Xe+ | Нет |
O+, Ar+, N+ | Нет |
Система нейтрализации заряда | Наличие |
Диапазон ускоряющего напряжения, кВ | 0,5–30 (Ga) |
Максимальный ток пучка, нА | 65 (Ga) |
Максимальное разрешение, нм | 3 (Ga) |
Дополнительное оборудование: | |
Лазерная приставка | Нет |
Криоочистка камеры | Опция |
Плазменная очистка камеры | Опция |
Литография | Опция |
Крио-СЭМ | Опция |
ГИС | Опция |
Манипулятор | Опция |
Зондовые станции | Опция |
Панель управления микроскопом | Опция |
Джойстик для управления столиком | Опция |
Столик для охлаждения | Опция |
Столик для нагрева | Опция |
Столик для растяжения/сжатия | Опция |
Вакуумный шлюз | Опция |
Функция замедления пучка | Опция |
Программное обеспечение: | |
MAPS™ | Опция |
MAPS™ + correlative work | Опция |
AutoTEM | Опция |
Auto Slice&View | Опция |
ColorSEM Technology | Опция |
FLASH | Опция |
SmartAlign Technology | Опция |
Pattern generation software | Опция |
AutoScript 4, Python-based Application Programming Interface (API) | Опция |
TopoMaps for image colorization, image analysis and 3D surface reconstruction | Опция |
Remote control | Опция |
Web-enabled data archive | Опция |