Система Scios обеспечивает лучшую в своем классе производительность при подготовке ПЭМ-образцов и трехмерной характеризации материалов для самого широкого спектра образцов, включая магнитные и непроводящие материалы, когда требуется высокое разрешение и широкие аналитические возможности. Уникальная технология детектирования Thermo Scientific Trinity ™, встроенная в линзу, в сочетании с системой торможения пучка может одновременно детектировать низкоэнергетичные электроны (от 20 эВ) с различным углом выхода и позволяет получать высококонтрастные изображения морфологии поверхности сверхвысокого разрешения. Scios может поставляться в низковакуумном исполнении, что в сочетании с широким диапазоном токов пучка (от 1 пА до 400 нА), большой камерой для образцов, мультифункциональным столиком и широким выбором детекторов позволяет использовать прибор в качестве высокопроизводительной аналитической системы в широком спектре применений.


  • SKU: EL023622
  • Цена: 


Подробнее


Основные преимущества:

  • автоматизированная подготовка образцов для ПЭМ и АЗТ высочайшего качества in-situ с прецизионным позиционированием области и объекта интереса;
  • исключительная контрастность изображения поверхности образца даже при низком напряжении и токе пучка при любых углах наклона;
  • внутрилинзовая система детектирования TrinityTM обеспечивает фильтрацию и микширование необходимых сигналов;
  • снижение заряда поверхности благодаря режиму низкого вакуума с давлением в камере до 500 Па.
Тип микроскопаДвухлучевая система
Область примененияМатериаловедение
Направление деятельности3D-анализ
Объекты интереса11 нм – 100 нм
Характеристики электронной пушки:
Тип катодаАвтоэмиссионный катод типа Шоттки
Максимальное разрешение, нм0,7 (SE)
Диапазон ускоряющего напряжения, В200–30 000
Минимальная энергия приземления электронов, эВ20
Максимальный ток зонда, нА400
Предметный столик
Тип столика
Мультифункциональный на 18 держателей 12 ммНаличие
ПьезоНет
МеханическийНаличие
Максимальный вес образца, г500
Максимальный размер образца, Ø мм122
Ход по осям X и Y, мм110 × 110
Воспроизводимость по осям X и Y, мкм< 3,0
Ход по оси Z, мм65
Поворот, град.360
Наклон, град.-15 / +90
Ширина камеры, мм340
Количество портов для установки дополнительных детекторов, шт.12
Детекторы:
Детектор вторичных электронов Эверхарта-Торнли (ETD)Наличие
ИК-камера для наблюдения положения образца в камереНаличие
Навигационная камера высокого разрешения Nav-Cam+™Наличие
Интегрированная система измерения тока лучаНаличие
Детектор вторичных электронов для низкого вакуума (LVD)Опция
T1 – нижний внутрилинзовый детекторНаличие
T2 – верхний внутрилинзовый детекторНаличие
T3 – внутриколонный детекторНаличие
Внутрилинзовый детектор Elstar SE/BSE (TLD-SE, TLD-BSE)Нет
Внутриколонный детектор Elstar SE/BSE (ICD)Нет
Внутриколонный детектор Elstar BSE (MD)Нет
Детектор направленных обратно-отраженных электронов (DBS)Опция
Газовый аналитический детектор обратно-отраженных электронов DBS-GADНаличие
Детектор прошедших электронов STEM 3+Опция
Детектор для катодолюминесценции (CL)Опция
Детектор RamanОпция
EDSОпция
EBSD/WDSОпция
Режимы вакуума:
Высокий вакуум, Па<6,0 × 10⁻⁴
Низкий вакуум, Па500
Безмасляная вакуумная системаНаличие
Характеристики ионной пушки:
Ga+Наличие
Xe+Нет
O+, Ar+, N+Нет
Система нейтрализации зарядаНаличие
Диапазон ускоряющего напряжения, кВ0,5–30 (Ga)
Максимальный ток пучка, нА65 (Ga)
Максимальное разрешение, нм3 (Ga)
Дополнительное оборудование:
Лазерная приставкаНет
Криоочистка камерыОпция
Плазменная очистка камерыОпция
ЛитографияОпция
Крио-СЭМОпция
ГИСОпция
МанипуляторОпция
Зондовые станцииОпция
Панель управления микроскопомОпция
Джойстик для управления столикомОпция
Столик для охлажденияОпция
Столик для нагреваОпция
Столик для растяжения/сжатияОпция
Вакуумный шлюзОпция
Функция замедления пучкаОпция
Программное обеспечение:
MAPS™Опция
MAPS™ + correlative workОпция
AutoTEMОпция
Auto Slice&ViewОпция
ColorSEM TechnologyОпция
FLASHОпция
SmartAlign TechnologyОпция
Pattern generation softwareОпция
AutoScript 4, Python-based Application Programming Interface (API)Опция
TopoMaps for image colorization, image analysis and 3D surface reconstructionОпция
Remote controlОпция
Web-enabled data archiveОпция
Тип
Электронные