Axia ChemiSEM - микроскоп нового поколения, всегда готовый к работе даже для пользователей, мало знакомых с СЭМ. Прибор предлагает новую концепцию обработки и представления информации о составе образца в режиме реального времени, которая идеально настраивает и изображение СЭМ, и изображение ЭДС. Кроме того, новая технология обработки информации с адаптивным формированием импульсов позволяет получать достоверную информацию об элементном составе без искажений от наложения пиков и теней. Прибор обеспечивает размещения больших образцов весом до 10 кг и предоставляет доступ ко всей камере. Режим низкого вакуума позволяет работать с непроводящими образцами и использовать более высокие токи пучка для проведения элементного анализа. Прибор прост в обслуживании. Его конструкция обеспечивает длительное время безотказной работы, а замена катода и настройка колонны и оптики могут быть выполнены пользователем с любым уровнем опыта.
Основные преимущества:
Тип микроскопа | Сканирующий |
Область применения | Материаловедение |
Направление деятельности | 2D-анализ |
Объекты интереса | 101 нм – 100 мкм |
Характеристики электронной пушки | |
Тип катода | Термоэмиссионный (вольфрамовый) |
Максимальное разрешение (SE), нм | 3 |
Диапазон ускоряющего напряжения, В | 200–30 000 |
Минимальная энергия приземления электронов, эВ | 20 |
Максимальный ток зонда, нА | 2 000 |
Предметный столик | |
Тип столика | |
Мультифункциональный на 18 держателей 12 мм | Нет |
На 18 держателей 12 мм | Нет |
На 7 держателей 12 мм | Наличие |
Пьезо | Нет |
Механический | Наличие |
Максимальный вес образца, г | 10 000 |
Максимальный размер образца, Ø мм | 138 |
Ход по осям X и Y, мм | 120 × 120 |
Воспроизводимость по осям X и Y, мкм | < 5,0 |
Ход по оси Z, мм | 55 |
Поворот, град. | 360 |
Наклон, град. | -15 / +90 |
Ширина камеры, мм | 280 |
Количество портов для установки дополнительных детекторов, шт.) | 12 |
Детекторы | |
Детектор вторичных электронов Эверхарта-Торнли (ETD) | Наличие |
ИК-камера для наблюдения положения образца в камере | Наличие |
Навигационная камера высокого разрешения Nav-Cam+™ | Наличие |
Интегрированная система измерения тока луча | Нет |
Детектор вторичных электронов для низкого вакуума (LVD) | Опция |
Газовый детектор вторичных электронов для режима ESEM | Нет |
T1 – нижний внутрилинзовый детектор | Нет |
T2 – верхний внутрилинзовый детектор | Нет |
T3 – внутриколонный детектор | Нет |
Внутрилинзовый детектор Elstar SE/BSE (TLD-SE, TLD-BSE) | Нет |
Внутриколонный детектор Elstar SE/BSE (ICD) | Нет |
Внутриколонный детектор Elstar BSE (MD) | Нет |
Детектор направленных обратно-отраженных электронов (DBS) | Наличие |
Газовый аналитический детектор обратно-отраженных электронов DBS-GAD | Нет |
Аналитический ESEM-детектор DBS-ESEM | Нет |
Детектор прошедших электронов STEM 3+ | Нет |
Детектор для катодолюминесценции (CL) | Опция |
Детектор Raman | Опция |
EDS | Наличие |
EBSD/WDS | Опция |
Режимы вакуума: | |
Высокий вакуум, Па | < 6,0 × 10 ⁻ ⁵ |
Низкий вакуум, Па | 150 |
Режим естественной среды (влажность 100 %), Па | Нет |
Безмасляная вакуумная система | Наличие |
Дополнительное оборудование: | |
Пакет Wet-STEM | Нет |
Криоочистка камеры | Нет |
Плазменная очистка камеры | Нет |
Литография | Нет |
Крио-СЭМ | Нет |
ГИС | Нет |
Манипулятор | Нет |
Зондовые станции | Опция |
Панель управления микроскопом | Наличие |
Джойстик для управления столиком | Нет |
Столик для охлаждения | Нет |
Столик для нагрева | Опция |
Столик для растяжения/сжатия | Опция |
Вакуумный шлюз | Нет |
Функция замедления пучка | Опция |
Программное обеспечение: | |
MAPS™ | Наличие |
MAPS™ + correlative work | Опция |
AutoTEM | Нет |
Auto Slice&View | Нет |
ColorSEM Technology | Наличие |
FLASH | Нет |
SmartAlign Technology | Нет |
Pattern generation software | Нет |
AutoScript 4, Python-based Application Programming Interface (API) | Опция |
TopoMaps for image colorization, image analysis and 3D surface reconstruction | Опция |
Remote control | Нет |
Web-enabled data archive | Нет |